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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer epitaktisch beschichteten Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE59602849(D1) 申请公布日期 1999.09.30
申请号 DE19965002849 申请日期 1996.05.30
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 SIEBERT, WOLFGANG;MAYER, ERWIN-PETER
分类号 C30B13/00;C30B13/12;C30B29/06;(IPC1-7):C30B13/00 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
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