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发明名称 RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0877294(A4) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19970900782 申请日期 1997.01.27
申请人 NIPPON ZEON CO., LTD. 发明人 ABE, NOBUNORI;TAKAHASHI, NOBUKAZU
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;C08F299/00;C08L25/00;C08L33/06;C09D125/00;C09D133/04 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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