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发明名称 Process for producing polycrystalline semiconductors
摘要
申请公布号 EP0748884(B1) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19960109528 申请日期 1996.06.13
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 OKUNO, TETSUHIRO
分类号 C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
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