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发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A CAPACITOR IN A SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT
摘要
申请公布号 EP0944915(A1) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19970932735 申请日期 1997.07.03
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHAEFER, HERBERT;FRANOSCH, MARTIN;STENGL, REINHARD;LEHMANN, VOLKER;REISINGER, HANS;WENDT, HERMANN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/320;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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