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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR BODIES WITH A MOVPE-LAYER SEQUENCE
摘要
申请公布号 EP0944918(A1) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19970937453 申请日期 1997.08.13
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHOENFELD, OLAF;NIRSCHL, ERNST
分类号 H01L21/302;H01L21/301;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/78;H01L31/10;H01L33/00;H01L33/20;H01L33/22;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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