发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP0663698(B1) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19940921826 申请日期 1994.07.28
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 TERASAWA, YOSHIO
分类号 H01L21/335;H01L29/744;H01L21/329;H01L21/332;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/80 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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