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发明名称 Resist composition
摘要
申请公布号 EP0419147(B2) 申请公布日期 1999.09.29
申请号 EP19900310075 申请日期 1990.09.14
申请人 NIPPON ZEON CO., LTD. 发明人 OIE, MASAYUKI;KAWATA, SHOJI;YAMADA, TAKAMASA
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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