| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE HAVING POLLUTION PREVENTION MEANS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11264900(A) |
申请公布日期 |
1999.09.28 |
| 申请号 |
JP19990003198 |
申请日期 |
1999.01.08 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
KARL E BOHNENKAMP;CHESTER T ZIOVKOWSKY |
| 分类号 |
G21K5/04;G01Q30/10;H01J37/02;H01J37/09;H01J37/18;H01L21/027;(IPC1-7):G21K5/04 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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