| 发明名称 |
FILM DEPOSITION DEVICE FOR MEASURING FILM THICKNESS IN-SITU IN FILM FORMING PROCESS AND ITS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11264072(A) |
申请公布日期 |
1999.09.28 |
| 申请号 |
JP19980053623 |
申请日期 |
1998.03.05 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
TAKEUCHI MASAYUKI;NAKAGAWA SHINYA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52;G01B11/06;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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