发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR STICKING SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11264990(A) |
申请公布日期 |
1999.09.28 |
申请号 |
JP19980067045 |
申请日期 |
1998.03.17 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OTSUKA KYO;NAGAHARA TAKAYUKI;EGAMI NORIHIKO |
分类号 |
G09F9/00;G02F1/1339;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G09F9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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