| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR RECOVERING AND REPRODUCING RESIST COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11262723(A) |
申请公布日期 |
1999.09.28 |
| 申请号 |
JP19980089271 |
申请日期 |
1998.03.18 |
| 申请人 |
MIURA CO LTD;MIURA INST OF RES & DEV |
发明人 |
SHIRAISHI HITOSHI;TANAKA OSAMU |
| 分类号 |
B05D1/40;B05C11/08;B05C11/10;B05D3/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/10 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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