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发明名称 DRIVER FOR PROBE OR SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH11264832(A) 申请公布日期 1999.09.28
申请号 JP19980088296 申请日期 1998.03.18
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKANO KATSUSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/24;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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