| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TESTING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11265676(A) |
申请公布日期 |
1999.09.28 |
| 申请号 |
JP19990001928 |
申请日期 |
1999.01.07 |
| 申请人 |
ETEC EBT GMBH |
发明人 |
BRUNNER MATTHIAS DR;SCHMITT RALF |
| 分类号 |
H01J37/22;G01Q30/02;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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