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发明名称 Light-absorbing polymer for forming organic anti-reflective coating layer, composition including the same, and method for producing semiconductor device pattern using the same
摘要
申请公布号 KR100470938(B1) 申请公布日期 2005.02.22
申请号 KR20020027254 申请日期 2002.05.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/09;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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