发明名称 |
具有同心环形板阵列的用于深亚微型CMOS的多层电容器结构 |
摘要 |
一种电容器结构(20)包括第一和至少第二同心环形导线(22-25)的导体级(L1-L4)。所述第一和至少第二级的导线被排列成同心的环形堆叠体。介电材料(26-29)被设置在第一和第二导体级之间以及每个级的同心导线之间。至少一个导电通路(32)电连接每个堆叠体中的导线,借以形成电容器板的同心阵列。所述电容器板的同心阵列以交替的方式和相反极性的第一、第二端子电连接,从而在阵列的相邻的板之间产生电容。所述电容器结构尤其适用于深亚微CMOS。 |
申请公布号 |
CN1194417C |
申请公布日期 |
2005.03.23 |
申请号 |
CN01800767.8 |
申请日期 |
2001.03.28 |
申请人 |
皇家菲利浦电子有限公司 |
发明人 |
V·瓦图尔亚;T·索拉蒂 |
分类号 |
H01L29/92;H01L27/08 |
主分类号 |
H01L29/92 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
王岳;梁永 |
主权项 |
1.一种电容器(20),包括:同心导线(22)的第一导体级(L1);同心导线(23)的至少第二导体级(L2),所述第一级和所述至少第二级(L1,L2)的导线(22,23)被设置成同心的堆叠体;被设置在所述第一和第二导体级(L1,L2)之间以及每个级(L1,L2)的同心导线(22,23)之间的介电材料(27,28);多个电连接每个堆叠体中的导线(22,23)的导电通路(32),借以形成同心的电容器极板(27A,27B)的阵列,每个导电通路(32)通过在第一和第二导体级(L1,L2)之间的介电材料(27)延伸;以及具有相反电极性的第一和第二端子(A,B),其中同心的电容器极板(27A,27B)的阵列以交替的方式和相反极性的端子(A,B)电连接,从而在所述阵列的相邻的板之间产生电容。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |