发明名称 ENERGY BEAM PROCESSING METHOD AND PROCESSING APPARATUS THEREFOR
摘要 <p>(과제) 가공시간이 길어지지않고 균일하고도 정밀도가 큰 레이져가공을 실현할 수 있는 가공방법 및 그 장치를 제공한다. (해결수단) 구동모터 (리니어 서보모터) 14의 리니어 엔코더 16으로부터 발생된 동기신호에 따라 모터 14의 가동부의 합성 이동속도에 비례한 반복주파수에서 구동트리거를 발생하는 트리거 발생회로 22를 설하고, 그 트리거발생회로 22로부터의 구동트리거를 레이져 구동회로 18의 외부트리거 입력단자에 입력하도록 구성한다. 그래서 적어도 작업물 10을 가공할때의 재치대 11의 이동속도가 변화하는 영역에서는 모터 14의 가동부의 합성이동속도에 비례한 주파수에서 출력되는 구동트리거에 기하여, 레이져 17을 구동한다.</p>
申请公布号 KR19990072766(A) 申请公布日期 1999.09.27
申请号 KR19990005519 申请日期 1999.02.19
申请人 null, null 发明人 기노시타마코토;고바야시타케시
分类号 B23K26/00;B23K15/00;B23K26/08;H01L21/027 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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