| 摘要 |
<p>본 발명은 변동이 적은 안정된 온도 조절을 저소비 전력으로 효율좋게 수행하고, 종합적으로 저비용으로 신뢰성이 높은 레이저 출력 측정치를 얻는다. 하우징내에 들어간 레이저 광(LB)은, 반사 밀러, 광확산판, ND필터(42) 및 가시광 차단 필터(44)를 통과하여 포토다이오드(46)의 수광면에 입사된다. 열전도성의 제 2 유지체(28)의 얇은 측벽(28d, 28e)의 외벽면에는, 예를 들면, 금속 피막 저항체로 이루어지는 저항 발열체(48)와 이 저항 발열체(48)에 전력을 공급하기 위한 파워 트랜지스터(50)가 각각 열전도성의 절연 시트를 통하여 볼트에 의해 고착되어 있다. 제 2 유지체(28)는, 저항 발열체(48)로부터 발생되는 열과 트랜지스터(50)로부터 발생되는 열에 의해 가열된다. 제 2 유지체(28)에는 온도센서(52)도 설치되어 있다. 온도 제어 회로는, 온도 센서(52)의 출력 신호를 받고, 제 2 유지체(28)의 온도가 설정 온도로 일치하도록 트랜지스터(50)의 출력 신호를 제어한다.</p> |
