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发明名称
摘要
申请公布号 JP2952992(B2) 申请公布日期 1999.09.27
申请号 JP19900216822 申请日期 1990.08.17
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 YANAGA MASATAKA
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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