| 摘要 |
<p>본 발명은, 간단히 변환될 수 있고 경제적이며 양면으로 차단되는 파워 소자를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 제안된 방법은, a) 디스크(1)를 제 2면(4)상에서 제 2도전형의 기판(5)과 결합하여 하나의 웨이퍼로 형성하는 단계; b) 상기 웨이퍼상에 있는 파워 소자의 에지에서 디스크(1) 내부에 트렌치(7)를 형성하는 단계; c) 소자의 후방 차단 능력을 위해 에지 폐쇄부를 포함하는 제 2도전형의 연결 영역(9)을 디스크(1)의 제 1면(3)상에 형성하며, 제 2도전형의 제 1층(6)을 트렌치(7)의 노출 표면상에 형성함으로써, 기판(5)과 연결 영역(9) 사이에 전기 콘택을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
