发明名称 |
PHOTOMASK SUPPORTING PLATE FOR MICROCHIP MANUFACTURING APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11260719(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
申请号 |
JP19980358495 |
申请日期 |
1998.12.17 |
申请人 |
CARL ZEISS:FA |
发明人 |
SEIBERT VOLKER;SCHNIERING ULF;KNAPP KONRAD |
分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;H01L31/02 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|