| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR SCANNING-TYPE REDUCTION PROJECTION EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260697(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980061716 |
申请日期 |
1998.03.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
TOYODA SHIGEHIRO |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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