发明名称 POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
摘要
申请公布号 JPH11258795(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980060800 申请日期 1998.03.12
申请人 SUMITOMO BAKELITE CO LTD 发明人 MAKABE HIROAKI;BANBA TOSHIO;HIRANO TAKASHI
分类号 G03F7/037;C08G69/48;C08G73/22;C08K5/41;C08L77/10;G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/037 主分类号 G03F7/037
代理机构 代理人
主权项
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