| 发明名称 |
TESTING APPARATUS FOR IC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11258301(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980073027 |
申请日期 |
1998.03.09 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
TAGO HIRONORI;HARA MASAHIKO;TAKEUCHI HIDEYUKI;KUWABARA ICHIRO |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66;H05K7/20;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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