| 发明名称 |
HEAT TREATMENT DEVICE AND HEAT TREATMENT METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260748(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980059674 |
申请日期 |
1998.03.11 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NOZAKI KIMIHIDE |
| 分类号 |
H01L21/26;G01J5/00;G01J5/02;G01J5/10;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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