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发明名称 DRY CLEANING APPARATUS USED IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20060060395(A) 申请公布日期 2006.06.05
申请号 KR20040099454 申请日期 2004.11.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG EON;LEE, SUN YONG;HEO, DONG CHUL
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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