| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON THIN FILM AND POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260726(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980059888 |
申请日期 |
1998.03.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
HORIE TETSUHIRO;ISHIDA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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