发明名称 NON-DESTRUCTIVE TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11260870(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980060051 申请日期 1998.03.11
申请人 SONY CORP 发明人 TOKUMARU KAZUMI
分类号 G01B7/06;G01N27/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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