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发明名称 EQUIPMENT AND METHOD FOR SPIN CLEANING
摘要
申请公布号 JPH11260780(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980339067 申请日期 1998.11.30
申请人 OMI TADAHIRO;ULTLA CLEAN TECHNOLOGY KAIHATSU KENKYUSHO:KK 发明人 OMI TADAHIRO;NITTA TAKEHISA;NAKAMORI MITSUNORI
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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