| 发明名称 |
PRODUCTION OF HIGHER ORDER SILANE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260729(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980050841 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK |
发明人 |
KITSUNO YUTAKA;YANO KOTARO;TAZAWA SHOICHI;MATSUHIRA SHINYA;NAKAJO TETSUO |
| 分类号 |
H01L21/205;C01B33/04;C23C16/24;C30B29/06;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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