| 发明名称 |
STAGE BLOCK ASSEMBLY OF MICROSCOPE CAPABLE OF PREVENTING PARTICLE CONTAMINATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11258371(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980298871 |
申请日期 |
1998.10.20 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
HEN SEIU |
| 分类号 |
G12B5/00;G01N21/15;G02B21/24;G02B21/26;G02B27/00;G05D3/00;(IPC1-7):G12B5/00 |
主分类号 |
G12B5/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
