| 发明名称 |
METAL ION GENERATING, METAL ION IMPLANTING APPARATUS AND METAL ION GENERATING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260276(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980062356 |
申请日期 |
1998.03.13 |
| 申请人 |
KURITA SEISAKUSHO:KK |
发明人 |
YUKIMURA KEN;NISHIMURA YOSHIMI |
| 分类号 |
H01J27/08;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/08 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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