| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR ANALYSIS OF INSPECTION POINT IN LOGIC CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11258313(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980062507 |
申请日期 |
1998.03.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAO NORINOBU;KOBAYASHI SEIJI;HATAKEYAMA KAZUMI |
| 分类号 |
G01R31/317;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/317 |
主分类号 |
G01R31/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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