发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11260914(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980058415 申请日期 1998.03.10
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAMUTA YOSHITSUGU
分类号 H01L23/522;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
地址