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发明名称 EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF EVALUATING PROJECTION LENS OF EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11260703(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980065436 申请日期 1998.03.16
申请人 SONY CORP 发明人 MITA ISAO
分类号 H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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