发明名称 ELECTRON MICROSCOPE AND FLUORESCENT LIGHT CONDENSING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11260303(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980056422 申请日期 1998.03.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST LTD 发明人 ORAKU HIDEAKI;NAKAYAMA YOSHIHIKO;KUROME YUZO
分类号 H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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