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发明名称 CONVERGENT ION BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11260296(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980055270 申请日期 1998.03.06
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC 发明人 KOYAMA YOSHIHIRO
分类号 H01J37/12;H01J37/28;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/12 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
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