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发明名称
EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号
JPH11260686(A)
申请公布日期
1999.09.24
申请号
JP19980059570
申请日期
1998.03.11
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
INOUE SOICHI;TANAKA SATOSHI;OKUMURA KATSUYA
分类号
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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