| 摘要 |
L'invention concerne un procédé et un système d'alignement d'un équipement de prise et pose de puces de circuit intégrés (IC), avec une origine d'une plaquette (P') portant ces circuits, consistant à rechercher optiquement sur la plaquette, au moins un motif de référence réalisé, lors de la fabrication des circuits intégrés, dans une puce de référence (RC), le motif de référence étant distinct de motif optiquement reconnaissables des autres puces.
|
