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发明名称 Zerstäubungskathodenanordnung nach dem Magnetron-Prinzip für die Beschichtung einer kreisringförmigen Beschichtungsfläche
摘要
申请公布号 DE4128340(C2) 申请公布日期 1999.09.23
申请号 DE19914128340 申请日期 1991.08.27
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 BRAEUER, GUENTER;SCHULTHEIS, EBERHARD
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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