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发明名称 VERFAHREN ZUR WIEDERHOLTEN ABBILDUNG EINES MASKENMUSTERS AUF EINEM SUBSTRAT UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 DE69508228(T2) 申请公布日期 1999.09.23
申请号 DE19956008228T 申请日期 1995.05.09
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 TENNER, MANFRED;VAN DER WERF, JAN;VAN UIJEN, CORNELIS;DIRKSEN, PETER
分类号 G03F9/00;G03F7/20;G03F7/207;G03F7/23;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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