| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11260722(A) |
申请公布日期 |
1999.09.24 |
| 申请号 |
JP19980063164 |
申请日期 |
1998.03.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD |
发明人 |
SHIMAMOTO HIROMI;TANABE MASAMICHI;WASHIO KATSUYOSHI |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/822;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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