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发明名称 Positiv-arbeitendes Resistmaterial
摘要
申请公布号 DE69228584(T2) 申请公布日期 1999.09.23
申请号 DE1992628584T 申请日期 1992.11.11
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.;NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 YAMADA, MOTOYUKI;WATANABE, OSAMU;TANAKA, AKINOBU;BAN, HIROSHI;KAWAI, YOSHIO
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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