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发明名称 Schnelle, positiv arbeitende Resists mit Diazochinonen
摘要
申请公布号 DE69228358(T2) 申请公布日期 1999.09.23
申请号 DE19926028358T 申请日期 1992.10.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 KNORS, CHRISTOPHER JOHN;MIURA, STEVE SEIICHI;MONTGOMERY, MELVIN WARREN;MOREAU, WAYNE MARTIN;SMITH, RANDOLPH JOSEPH
分类号 G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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