| 发明名称 |
Verfahren zum naßchemischen pyramidalen Texturätzen von Siliziumoberflächen |
| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zum naßchemischen pyramidalen Texturätzen von (100) Siliziumoberflächen. Durch die erfindungsgemäße Lösung wird eine gleichmäßige und vollkommene pyramidale Texturätzung von Siliziumoberflächen erreicht.
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| 申请公布号 |
DE19811878(A1) |
申请公布日期 |
1999.09.23 |
| 申请号 |
DE1998111878 |
申请日期 |
1998.03.18 |
| 申请人 |
SIEMENS SOLAR GMBH |
发明人 |
HOLDERMANN, KONSTANTIN |
| 分类号 |
C23F1/32;H01L21/306;H01L31/0236;(IPC1-7):C23F1/40 |
主分类号 |
C23F1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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