| 发明名称 |
Verfahren zur Aufbringung einer dünnen Schicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69601452(T2) |
申请公布日期 |
1999.09.23 |
| 申请号 |
DE1996601452T |
申请日期 |
1996.10.21 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
HABUKA, HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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