发明名称 A method of forming high-stability metallic contacts in an integrated circuit with one or more metallized layers
摘要
申请公布号 EP0543254(B1) 申请公布日期 1999.09.22
申请号 EP19920119191 申请日期 1992.11.10
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 BALDI, LIVIO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L23/485 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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