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发明名称 Apparatus for sputtering or arc evaporation
摘要
申请公布号 IL127236(D0) 申请公布日期 1999.09.22
申请号 IL19980127236 申请日期 1998.11.24
申请人 VAPOR TECHNOLOGIES, INC. 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J23/04;H01J25/50;H01J37/34;(IPC1-7):H01J 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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