双足式大行程双向微动工作台

摘要

本实用新型涉及一种双足式大行程双向微动工作台,工作台是由二套小行程微动工作组成,每一套小行程微动工作台包括微动部分和抬足部分。其中微动部分是在钢板上左右两部分分别按方形布局线切割四条长孔,形成柔性铰链,在钢板的四个侧面钻孔,在孔内分别装上压电陶瓷,长方体钢块对称立放在钢板中间,通过螺钉与阀板连接,放置被测物体的工作台直接放在长方体钢块上,在钢块底侧钻孔,分别装入压电陶瓷,钢块的上端分别缠有线圈。

主权项

1.一种双足式大行程双向微动工作台，其特征在于：由二套小行程微动工作台组成，其中每一套小行程微动工作台包括微动部分和抬足部分。