| 发明名称 |
Evakuierungssystem mit Abgasreiningung und Betriebsverfahren hierfür |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59602765(D1) |
申请公布日期 |
1999.09.23 |
| 申请号 |
DE19965002765 |
申请日期 |
1996.03.21 |
| 申请人 |
EBARA GERMANY GMBH |
发明人 |
HAUFF, ALFRED;KINZIG, VOLKER |
| 分类号 |
B01D53/74;(IPC1-7):B01D53/74 |
主分类号 |
B01D53/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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