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发明名称 Method for creating via hole in chip
摘要
申请公布号 EP0911870(A3) 申请公布日期 1999.09.22
申请号 EP19980250371 申请日期 1998.10.21
申请人 MICROJET TECHNOLOGY CO., LTD 发明人 MOU, TSE-CHI;CHENG, SHIANG CHING;CHOU, CHIN-YI;YANG, ARNOLD CHANG-MOU
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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